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用于真空枯燥設備的真空體系經常會呈現上述致使真空泵損壞的景象。由于真空枯燥處理的目的即是為了排除水蒸氣。商品在枯燥前的儲運及制作過程中以及真空罐本身在敞口時期，不免帶進不少粉塵和顆粒狀雜質。在真空體系處于高壓力抽氣期間時，這些雜質有也許被湍流狀氣流帶進真空泵的泵腔內。
為了避免呈現由于上述因素而致使機械真空泵損壞，除了請求在技術過程中盡量使真空體系清潔外，可在真空泵的進氣口設備過濾網，阻撓從進氣口也許進入到泵腔的雜質污物。在泵的進氣口處設置捕污腔，避免如果泵進氣口的網損壞或別的因素使污物進入進氣口，也只能落在捕污腔中，而不會進入到真空泵腔內。
為避免泵油中的粉塵、顆粒物質隨泵油一同進入泵腔，對某些技術過程，在泵運轉過程中應設有連續泵油過濾設備。相對干凈的油則由設于副油箱中上部的過濾器過濾后經進油管進入分油腔后供給端蓋和泵腔作業。
在過濾器上常常設置壓力表以顯現過濾器是不是阻塞。當壓力增加，油不能正?；顒訒r，即為過濾器阻塞，應替換或清潔過濾芯。
真空泵通常每周檢查一下油量。換油的時刻距離依作業條件而定。通常因油潤滑不良、油分化或污染物太多使泵極限壓力上升時，就需要替換油了。
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連成離心泵不同漏液對應的解決方法
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壓濾機泵抽水不良原因個個排除
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